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Colloque
Les miroirs pour rayons X-UV (40 ≤λ≤400 ) à incidence normale trouvent des applications dans des domaines aussi divers que l’astronomie, la microélectronique, la spectroscopie, les lasers et l’holographie. Pour obtenir de forts coefficients de réflexion dans cette région spectrale, il est nécessaire d’utiliser des structures multicouches conçues de manière à obtenir une interférence constructive entre les faisceaux réfléchis par les différentes interfaces. Pour matériaux, nous avons choisi d’utiliser des combinaisons molybdène-silicium en raison de leurs propriétés optiques et pour des raisons de coût. Les multicouches ont été fabriquées par pulvérisation et assisté de magnétrons. Des analyses par microscopie électronique …
