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Colloque
Plusieurs procédés de traitement par plasma comme la gravure et le dépôt requièrent de grands volumes de plasma homogène, stable, dense à des pressions inférieures ou de l'ordre du mTorr. Les décharges créées en confinement multipolaire répondent à ces critères. Toutefois, les plasmas multipolaires traditionnels, i.e. entretenus à l'aide de filaments thermoémissifs, présentent certains inconvénients reliés à la présence même de ces filaments (durée de vie limitée, contamination ...). La solution que nous proposons est de produire le plasma au moyen d'une onde électromagnétique de surface. Un des avantages de notre approche est que la présence du champ magnétique permet …
Colloque
Plusieurs procédés de traitement par plasma comme la gravure et le dépôt requièrent de grands volumes de plasma homogène, stable, dense à des pressions inférieures ou de l'ordre du mTorr. Les décharges créées en confinement multipolaire répondent à ces critères. Toutefois, les plasmas multipolaires traditionnels, i.e. entretenus à l'aide de filaments thermoémissifs, présentent certains inconvénients reliés à la présence même de ces filaments (durée de vie limitée, contamination ...). La solution que nous proposons est de produire le plasma au moyen d'une onde électromagnétique de surface. Un des avantages de notre approche est que la présence du champ magnétique permet …
