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Colloque
Dans le but d'obtenir des composants actifs à partir de guide en canal de matériau InGaAsP/InP, nous avons étudié les profils obtenus à partir d'une étude systématique de l'attaque chimique à base de solutions liquides. En plus des guides en canal et des sections coniques, nous avons étudié les profils obtenus lors de l'attaque de structures triangulaires, donc de section variable. Les structures de section variable sont d'un intérêt particulier pour les couples et les modulateurs optiques. Les différents paramètres de concentration des solutions, de température et d'agitation mécanique ont été étudiés en détail.
