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Propriétés Diélectriques de Couches Minces d'Organosilicones Déposées par Plasmas Hyperfréquentiels
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Parmi les premières applications envisagées pour de minces couches organiques produites par décharges électriques (plasma-polymères), PP fut leur emploi comme diélectriques. Cependant, ces couches, jusqu'à présent, ne sont pas satisfaisantes aux polymères conventionnels à cause de leurs pertes diélectriques (tan δ) relativement plus importantes et de leur permittivité tendancieuse de "vieillissement" plus rapide. Notre étude est basée sur la caractérisation diélectrique de films d'organosilicones déposés dans un plasma hyperfréquentiel du type "LMP" ("Large Volume Microwave Plasma Generator"). Au cours des dernières années nous avons montré que le choix judicieux des nombreux paramètres de fabrication permet d'optimaliser les propriétés pour une …

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