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Communication
L'utilisation de décharges en courant continu ou en radiofréquences a récemment suscité un regain d'intérêt pour l'analyse chimique des matériaux solides. Toutefois, ces décharges présentent un certain nombre d'inconvénients. Leur densité ionique est relativement faible, ce qui limite le taux de pulvérisation de l'échantillon. En outre, leur fonctionnement à pression relativement élevée (typiquement supérieure à quelques dizaines de 10 mtorr) rend, par exemple, la réalisation d'une interface avec un spectromètre de masse difficile lorsqu'un tel diagnostic est privilégié pour l'analyse élémentaire. Dans ce contexte, l'utilisation d'un plasma dit de haute densité peut s'avérer avantageuse. En effet, ce type de plasma …
Communication
L'utilisation de décharges en courant continu ou en radiofréquences a récemment suscité un regain d'intérêt pour l'analyse chimique des matériaux solides. Toutefois, ces décharges présentent un certain nombre d'inconvénients. Leur densité ionique est relativement faible, ce qui limite le taux de pulvérisation de l'échantillon. En outre, leur fonctionnement à pression relativement élevée (typiquement supérieure à quelques dizaines de 10 mtorr) rend, par exemple, la réalisation d'une interface avec un spectromètre de masse difficile lorsqu'un tel diagnostic est privilégié pour l'analyse élémentaire. Dans ce contexte, l'utilisation d'un plasma dit de haute densité peut s'avérer avantageuse. En effet, ce type de plasma …
