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Colloque
L'implantation ionique dans les matériaux isolants cause une accumulation de charges électriques à la surface qui est dû non seulement aux charges transportées par les ions implantés, mais aussi à l'émission des électrons secondaires lors de l'impact d'ions. Des échantillons de polyéthylène de différentes tailles (1.1x1.1 cm2 à 3.4x3.4 cm2) ont été implantés avec des ions D+ de 1.1 keV à une dose de 3.9x1016/cm2. Des galettes de Si ayant la dimension du collimateur ont été fixées au centre de chaque isolant, puis implantées par des ions H+ de 1.1 keV. Pour tous les échantillons, l'étude de l'évolution des profils …
