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Colloque
Les couches minces à base de carbone produites avec l'aide de plasmas se présentent sous une grande gamme de formes aux propriétés physiques, chimiques, électriques et optiques variées. Les dépôts de diamant et de nanotubes de carbone (CNT) sont des exemples de films à base de carbone d'un grand intérêt pour divers champs d'activité technologique. Les caractéristiques de la couche déposée sont déterminées par la structure des liens entres les atomes introduits dans la structure du film. Les propriétés du film sont affectées par les paramètres du plasma tels sa densité et sa température, la nature des gaz plasma, la …
