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Les plasmas offrent une approche innovante et prometteuse dans le domaine de la détoxication de gaz nuisibles à l'homme et à son environnement. En particulier, les plasmas micro-ondes entretenus à la pression atmosphérique permettent de réduire efficacement et de façon écologique un certain nombre de gaz à effet de serre. Nous allons considérer le cas particulier de la destruction de gaz perfluorés tels le SF6 et le CF4 (utilisés en microélectronique) suite à leur passage dans une décharge micro-ondes entretenue par une onde de surface à la pression atmosphérique. Nous analyserons l'influence des paramètres opératoires (puissance micro-ondes, concentration et débit …
Les plasmas offrent une approche innovante et prometteuse dans le domaine de la détoxication de gaz nuisibles à l'homme et à son environnement. En particulier, les plasmas micro-ondes entretenus à la pression atmosphérique permettent de réduire efficacement et de façon écologique un certain nombre de gaz à effet de serre. Nous allons considérer le cas particulier de la destruction de gaz perfluorés tels le SF6 et le CF4 (utilisés en microélectronique) suite à leur passage dans une décharge micro-ondes entretenue par une onde de surface à la pression atmosphérique. Nous analyserons l'influence des paramètres opératoires (puissance micro-ondes, concentration et débit …
Les plasmas offrent une approche innovante et prometteuse dans le domaine de la détoxication de gaz nuisibles à l'homme et à son environnement. En particulier, les plasmas micro-ondes entretenus à la pression atmosphérique permettent de réduire efficacement et de façon écologique un certain nombre de gaz à effet de serre. Nous allons considérer le cas particulier de la destruction de gaz perfluorés tels le SF6 et le CF4 (utilisés en microélectronique) suite à leur passage dans une décharge micro-ondes entretenue par une onde de surface à la pression atmosphérique. Nous analyserons l'influence des paramètres opératoires (puissance micro-ondes, concentration et débit …