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Colloque
L'outil de base que nous utilisons maintenant depuis plusieurs années, est le faisceau électronique. C'est un outil remarquable, bien connu pour sa finesse et sa flexibilité. En effet, d'une part, la focalisation du faisceau peut être nanométrique, et d'autre part, le faisceau étant chargé, il peut être déplacé à volonté avec une précision du même ordre que sa focalisation. On sait depuis longtemps qu'un faisceau électronique interagissant avec un matériau produit des radiations secondaires (luminescence, électrons secondaires), mais on sait moins qu'il produit aussi des modifications de structure et de charge électrique si le matériau-cible est isolant. Ces derniers effets …
Colloque
L'outil de base que nous utilisons maintenant depuis plusieurs années, est le faisceau électronique. C'est un outil remarquable, bien connu pour sa finesse et sa flexibilité. En effet, d'une part, la focalisation du faisceau peut être nanométrique, et d'autre part, le faisceau étant chargé, il peut être déplacé à volonté avec une précision du même ordre que sa focalisation. On sait depuis longtemps qu'un faisceau électronique interagissant avec un matériau produit des radiations secondaires (luminescence, électrons secondaires), mais on sait moins qu'il produit aussi des modifications de structure et de charge électrique si le matériau-cible est isolant. Ces derniers effets …
