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Colloque
La diffusion d'un mince film de titane dans un cristal de niobate de lithium est un procédé expérimental de plus en plus utilisé pour la fabrication de guide d'onde optique dans les circuits intégrés. Selon les modes de propagation désirés, la diffusion en profondeur de même que la diffusion latérale doivent être bien contrôlées. L'importance de la diffusion latérale comparativement à la diffusion en profondeur est couramment attribuée à une anisotropie du cristal selon les directions de diffusion. Dépendamment des conditions expérimentales, cette hypothèse ne semble pas toujours vérifiée. Il est démontré que la présence de sites vacants de lithium …
