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pen icon Colloque
Caractérisation d'un plasma d'onde de surface par tomographie
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Les plasmas d'onde de surface sont des sources polyvalentes pour l'analyse élémentaire par émission atomique. Ces plasmas sont stables et reproductibles et peuvent être générés sur une large gamme de fréquence (200 kHz - 10 GHz), dans divers gaz (Ar, He, N2). Nous présentons l'effet de la fréquence d'excitation et de la pression du gaz sur la distribution spatiale d'espèces excitées de l'argon. Ces distributions spatiales ont observées par tomographie. L'injection d'espèces non-métalliques (H2, O2, N2) est effectuée afin d'évaluer le potentiel d'excitation du plasma.

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