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La nanocalorimétrie permet de mesurer, en fonction de la température, la chaleur impliquée dans des processus ou réactions à l’échelle du nanomètre. L’échantillon est déposé sur une membrane de nitrure de silicium amorphe de 250 nm d’épaisseur sur laquelle une bande métallique de quelques dizaines de nanomètres est utilisée pour chauffer l’échantillon par effet Joule. Cette technique s’est avérée être un outil puissant de caractérisation de plusieurs phénomènes qui manifestent un comportement différent à l’échelle nanométrique. Parmi ces phénomènes on compte la décroissance du point fusion, la formation de siliciures métalliques ou encore l’évolution des défauts induit par implantation ionique …