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Colloque
La résistance supérieure des couches minces de SiC vers l'oxidation à haute température est de plus en plus utilisée dans une énorme diversité des domaines, incluant les moteurs céramiques et des dispositifs semiconducteurs. Des couches protectrices de SiC sur C(gr) ont aussi permis une réduction dramatique de la teneur en carbon du silicium monocrystallin Czochralski, en réduisant la formation du CO pendant la croissance des monocrystaux. Les propriétés des couches minces de SiC obtenues par CP-VD, perçues d'une manière générale comme intermédiaires entre celles des films crystallins obtenus par CVD et celles des depôts amorphes dérivés de la pyrolyse des …
