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Nous rapportons pour la première fois l'utilisation de nouvelles combinaisons de divers matériaux pour la fabrication de miroirs multicouches de haute reflectivité (>20%) " quasi-normale " dans la région des longueurs d'onde situées au-delà de 23 nm. Les multicouches ont été fabriquées grâce à un système de pulvérisation cathodique ("sputtering") et ont été analysées par la technique des rayons X à incidence rasante. Elles ont également été analysées au microscope électronique par transmission et caractérisées par les mesures de réflectivité à incidence normale. La lumière émise par des particules excitées d'hélium ou de néon et dispersée par le monochromateur à …