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Protocole de caractérisation de couches minces de matériaux à mémoire de forme
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Les matériaux à mémoire de forme offrent de multiples possibilités tant pour la recherche que pour le développement en industrie. La plupart des applications font appel à l'alliage de titane et de nickel (Ti50Ni50) ou aux alliages cuivreux (Cu-Al-Ni, Cu-Zn-X). Les produits développés jusqu'alors nécessitent une quantité de matériau appréciable, d'au minimum quelques grammes et dans des dimensions de l'ordre du cm3 tout au moins. Cependant, depuis quelques années, il y a un engouement pour la fabrication sous forme de couches minces de ces matériaux qui rend possible des applications dans le domaine de la micro-électromécanique. Le procédé utilisé pour …

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