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Étude spectroscopique des propriétés physico-chimiques des couches minces céramiques a-B/C : H/D dans TdeV
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Les revêtements des matériaux faisant face au plasma (PFM), à l'aide des couches minces de bore/carbone amorphes (a-B/C:H/D), sont d'un intérêt capital pour les réacteurs de fusion tels que le Tokamak de Varennes (TdeV). Par contre, beaucoup des questions, reliées au processus de déposition de tels films et aux effets des intéractions plasma-surface (PSI) sur leurs propriétés, sont sans réponses satisfaisantes ou complètes. Pour cette raison, nous avons opté pour l'étude et la comparaison des propriètés physico-chimiques des films déposés par PECVD durant le processus de boration dans TdeV. Dans la présente étude, deux séries des dépôts obtenus à des …

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Étude spectroscopique des propriétés physico-chimiques des couches minces céramiques a-B/C : H/D dans TdeV
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Les revêtements des matériaux faisant face au plasma (PFM), à l'aide des couches minces de bore/carbone amorphes (a-B/C:H/D), sont d'un intérêt capital pour les réacteurs de fusion tels que le Tokamak de Varennes (TdeV). Par contre, beaucoup des questions, reliées au processus de déposition de tels films et aux effets des intéractions plasma-surface (PSI) sur leurs propriétés, sont sans réponses satisfaisantes ou complètes. Pour cette raison, nous avons opté pour l'étude et la comparaison des propriètés physico-chimiques des films déposés par PECVD durant le processus de boration dans TdeV. Dans la présente étude, deux séries des dépôts obtenus à des …

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