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Colloque
Nous avons préparé des couches minces de niobium destinées à servir de cibles dans des expériences sur les effets du bombardement ionique des matériaux pouvant être utilisés comme paroi d'un réacteur à fusion. Ces couches minces ont des épaisseurs de 0.1 à 1.5μm et sont fabriquées par pulvérisation cathodique en régime c.c. dans une décharge d'argon. Nous avons considéré plusieurs paramètres de déposition; pression d'argon, tension de cathode et de substrat et durée de pulvérisation et nous avons caractérisé la composition et la structure des couches à l'aide de mesures de résistivité, de diffraction X et d'analyse par réaction nucléaire.
Colloque
Nous avons préparé des couches minces de niobium destinées à servir de cibles dans des expériences sur les effets du bombardement ionique des matériaux pouvant être utilisés comme paroi d'un réacteur à fusion. Ces couches minces ont des épaisseurs de 0.1 à 1.5μm et sont fabriquées par pulvérisation cathodique en régime c.c. dans une décharge d'argon. Nous avons considéré plusieurs paramètres de déposition; pression d'argon, tension de cathode et de substrat et durée de pulvérisation et nous avons caractérisé la composition et la structure des couches à l'aide de mesures de résistivité, de diffraction X et d'analyse par réaction nucléaire.
