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Intégration monolithique de diodes laser et de guides d'ondes passifs par la méthode d'interdiffusion de puits quantiques induite par implantation ionique à faible énergie
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Le domaine de la photonique est actuellement en pleine expansion. En effet, de nombreux travaux de recherche sont déployés dans le but de mettre en œuvre des méthodes de fabrication de composants photoniques intégrés. L'intégration monolithique de composants photoniques est indispensable pour permettre l'évolution de la capacité et par conséquent de la complexité de nombreux systèmes optiques, tout comme ce fut le cas pour l'industrie de la microélectronique pour la fabrication de microprocesseurs. La méthode de fabrication de circuits intégrés photoniques à base d'hétérostructures sur substrats d'InP utilisés pour nos travaux est basée sur l'utilisation d'un implanteur ionique industriel pour …

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