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La spectroscopie Auger et son application au génie des matériaux
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Depuis une dizaine d'années, la spectroscopie des électrons Auger est devenue une technique très puissante pour la caractérisation chimique élémentaire des surfaces. Elle permet de détecter tous les éléments du tableau périodique (sauf H et He) et sa sensibilité peut atteindre 0.01% atomique de la composition superficielle. Son grand avantage est d'analyser uniquement que les premières couches atomiques (1 à 10), car la profondeur d'échappement des électrons Auger est très faible. Associée à un décapage par bombardement ionique de la surface, la spectroscopie permet l'étude de gradients de concentration extrêmement étroits, de l'ordre de quelques ngströms. Au cours de notre …

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