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Colloque
Fabriquer des revêtements optiques de qualité devient de plus en plus important dans l'industrie de l'électronique et de l'optoélectronique. Afin de mieux en contrôler les propriétés optiques, ces revêtements sont préférablement conçus sous forme de multicouches ou de films à gradient d'indice. De telles structures, à multicouches (SiN1.3/SiO2) et à gradient d'indice (SiOxNy avec x et y variables) sont fabriquées par plasma froid à double fréquence. Les spectres de réflexion et de transmission spéculaires et diffusées de ces couches sont mesurés dans la gamme de l'ultra-violet et du visible à l'aide d'une sphère d'intégration. Les spectres obtenus sont étudiés en …
