Fouad Bounasri

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60e Congrès de l'Acfas : Effet de la tension et de la fréquence de polarisation RF sur la vitesse de gravure du polyimide

59e Congrès de l'Acfas : Vitesse de gravure d'un polymide par un plasma O2/CF4: influence de la tension et de la fréquence de polarisation RF appliquée au substrat

Communications de Fouad Bounasri

Effet de la tension et de la fréquence de polarisation RF sur la vitesse de gravure du polyimide
Fouad Bounasri
Congrès 1992
Physique
Vitesse de gravure d'un polymide par un plasma O2/CF4: influence de la tension et de la fréquence de polarisation RF appliquée au substrat
Fouad Bounasri
Congrès 1991
Physique
Effet de la tension et de la fréquence de polarisation RF sur la vitesse de gravure du polyimide
Fouad Bounasri
Congrès 1992
Physique
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