Gaston Sauvé

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60e Congrès de l'Acfas : Effet de la tension et de la fréquence de polarisation RF sur la vitesse de gravure du polyimide

60e Congrès de l'Acfas : Création d'un plasma homogène de grand volume à l'aide d'une structure à ondes de fuite

60e Congrès de l'Acfas : Torche à plasma micro-onde

59e Congrès de l'Acfas : Vitesse de gravure d'un polymide par un plasma O2/CF4: influence de la tension et de la fréquence de polarisation RF appliquée au substrat

Communications de Gaston Sauvé

Effet de la tension et de la fréquence de polarisation RF sur la vitesse de gravure du polyimide
Fouad Bounasri
Congrès 1992
Physique
Torche à plasma micro-onde
Gaston Sauvé
Congrès 1992
Physique
Création d'un plasma homogène de grand volume à l'aide d'une structure à ondes de fuite
Gaston Sauvé
Congrès 1992
Physique
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