F. Schiettekatte

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72e Congrès de l'Acfas : Modification de surface du silicium monocristallin par faisceau de protons : application à la fabrication des substrats SOI ultra minces

Communications de F. Schiettekatte

Modification de surface du silicium monocristallin par faisceau de protons : application à la fabrication des substrats SOI ultra minces
Oussama Moutanabbir
Congrès 2004
Science et ingénierie des plasmas
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